集束イオンビーム/走査イオン顕微鏡
高性能集束イオンビーム装置 SMI3050R

品名	高性能集束イオンビーム装置

型式

概要	世界最高水準のSIM分解能を誇る高性能集束イオンビーム（FIB)装置です。断面加工観察、高品位TEM試料作製、回路修正、ベクタースキャン加工、ミクロン～ナノスケールの微細パターニングやナノ金型加工、デポジションによる3次元構造物の作製など、多種多用なアプリケーションに対応する装置です。