透過電子顕微鏡（TEM）
 走査電子顕微鏡（SEM）

ULTRA plus GEMINI Column with EsB & AsB Surface Imaging Microscope カールツァイス独自のチャージ・コンペンセイション（帯電除去）機能により、非導電性（絶縁性）のサンプルでも高分解能でノイズのない画像を安定して得ることができます。 また、フィッシュアイモード、エコノミック・クワイエットモード、レーザーファインダー、オプティプローブなど、多くの新オプションを準備し利便性の向上も図っています。

ULTRA55 GEMINI Column with EsB & AsB Surface Imaging Microscope ULTRA55はSUPRA55をもとに新たにエネルギー-角度分散反射電子検出器（EsB）を備えた 電界放射型走査電子顕微鏡です。2次電子による表面構造、ならびに反射電子による組成分布を高分解能観察することが出来ます。また、新開発のEsB検出器はフィルタ リンググリットと組み合わせることで検出器に入る反射電子のエネルギーを選択することができ、反射電子像の像質を大幅に改善することが出来ます。

SUPRAシリーズ ColumnショットキーFE-SEM GEMINI 近年、走査電子顕微鏡に対しては、低加速電圧での超高分解能観察や、大電流分析と高分解能イメージの両立、更には低真空での観察分析等、 さまざまな性能が要求されるようになっています｡これらの要求にたいして、GEMINIカラムテクノロジーは、1台でトータルソリューションを提供いたします｡

EVOシリーズ コンベンショナル/Variable Pressure SEM 1965年に世界最初にSEMを商品化して以来、新しくラインナップに加わるEVOシリーズはクラス最高の高分解能と多彩なアプリケーションに対応します。

LIBRA200FE In-ColumnエネルギーフィルターTEM 新しいLIBRA In-ColumnエネルギーフィルターTEMシリーズは、 全ての倍率での自動ケーラー照射系インカラムOMEGA型エネルギーフィルター 高安定デジタル電子制御系優れた操作性を提供するWinTEMTM(GUI)を備えています。LIBRA 200FE In-ColumnエネルギーフィルターTEMは新開発の 収差補正エネルギーフィルターに自動ケーラー照明系、高輝度電界放射型電子銃を組み合わせた初めてのモデルです。

LIBRA120 n-ColumnエネルギーフィルターTEM 新しいLIBRA In-ColumnエネルギーフィルターTEMシリーズは、全ての倍率での自動ケーラー照射系インカラムOMEGA型エネルギーフィルター高安定デジタル 電子制御系優れた操作性を提供するWinTEMTM(GUI)を備えています。LIBRA120 In-ColumnエネルギーフィルターTEMはLaB6の電子銃を備え、厚い試料や無染色の 試料であっても優れたコントラストを得ることが出来ます。

NVision 40 FIB-SEMクロスビーム装置 100mm以下の試料に対応したラボ用の装置として、材料分析、半導体、ライフサイエンスなど広い分野で最先端の研究開発に利用することを想定して設計された、Carl Zeiss社との共同開発製品です。Carl Zeiss社製SEM鏡筒とSIIナノテク製FIB鏡筒の組み合わせにより、高スループットかつダメージが少ない高品位TEMサンプルの作製を実現します。

XVision 200シリーズ FIB-SEMダブルビーム、トリプルビーム装置 200mmウェーハから複数の小片サンプルまで、様々なアプリケーションに用いることのできる装置です。トリプルビーム装置は3つのビームが試料の同一位置に照射されるため、試料断面をSEMで観察しながら極低加速ArイオンビームでFIB下降中に生じたダメージを除去したり、数nmレベルの均一なミリングを可能にした世界唯一のシリーズです。

XVision 300 シリーズ FIB-SEMダブルビーム、トリプルビーム装置 SMI3000シリーズを基本とする高性能自動化プラットフォームに、SIIナノテク製新型イオンビーム鏡筒と、世界最高水準のSEM像分解能を誇るCarl Zeiss社製のGemini電子顕微鏡筒を搭載し、従来製品に比べてよりダメージ少なく高精度な加工と、3nmの高い分解能によるSEM観察を実現しました。

CrossBeamシリーズ リアルタイムイオン電子顕微鏡 ZEISS CrossBeamシリーズは、超高解像度、極低加速電圧のGeminiフィールドエミッション走査型電子顕微鏡（FE-SEM）にハイパフォーマンス 集束イオンビーム（FIB）を搭載しており、半導体素子表面の欠陥解析、高精度TEM用試料作製、ナノ構造作製、電子ビームリソグラフィなど多彩な機能 を有しています。ナノレベル試料加工、ナノイメージング、リアルタイム3Dアナリシスの3種類の機能を同時に兼ね備えた最新のナノ加工、解析装置です。