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新製品紹介（2004分析展出品）

走査型プローブ顕微鏡

	NanoNavi SERIES L-trace
	高精度大型プローブ顕微鏡ユニット

• ヒステリシス、クリープの影響のないクローズドループスキャナを搭載。
• 新機能SISモード、カーボンナノプローブを組み合わせることにより、高アスペクト形状の確実な測定が可能。
• 150mmφまでの試料の全面観察が可能（200mmφステージオプション）。

<パターンサンプル測定例>
スキャンエリアを連続的に変えても、歪みのない画像が得られます。

	NanoNavi ステーション
	走査型プローブ顕微鏡用ステーション

• 新測定手法SISモード「Sampling Intelligent Scan」を開発。
• カーボンナノプローブ併用によるハイアスペクト形状への適用。
• プローブ接触回数低減による耐磨耗特性の飛躍的向上。
• 小型設計による小スペース化を実現。

	NanoNavi SERIES E-sweep
	環境制御型プローブ顕微鏡ユニット

• 走査型プローブ顕微鏡による表面転移温度計測の実現。温度変化に伴う表面物性の変化を連続的に評価。
• スウィングキャンセル機構による超低ドリフト（0.015nm/sec）の実現。
• 工具不要のホルダフランジ開閉機構による簡単操作の実現。試料交換した際の光てこ系の再調整不要。

　<PETの表面転移測定>
　温度スウィープ機能による表面転移評価と各温度における形状、位相像観察結果。

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