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新製品紹介（2004分析展出品）
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SMI3000SEシリーズ |
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FIB-SEM複合装置 |
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FIBによる高分解能観察（世界最高4nm！）。
• SEMによる加工断面自動モニタリング機能を搭載。
• ステージサイズ50mmの他、200mm、300mmにも対応。
• 連続加工、TEM自動仕上加工など自動化ソフ ト各種完備。ドリフト補正機能も充実。
• デポジションガス、エンハンストガス種がより充実。EBデポジションン機能も付加。
• EDS機能も追加可能。
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data |
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FIB image |
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Bitmap data |
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FIB image |
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<Advanced Nano Fabrication -Using
Bitmap Data- >
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