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:: ニュースリリース ::
2009年5月25日
カールツァイス製 走査電子顕微鏡の新製品
「ΣIGMA（シグマ）」を発売
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エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社（略称：SIIナノテク、社長：北野進、本社：千葉市美浜区中瀬1-8 SII幕張ビル、TEL：043-211-2930）は、独カールツァイス製 走査電子顕微鏡（SEM : Scanning Electron Microscope）の新製品「ΣIGMA（シグマ）」を、本日5月25日に発売します。
ΣIGMAは、低加速電圧での観察・分析に定評のあるGEMINI(ジェミニ) 鏡筒を搭載した多目的FE-SEMです（FE：Field Emission 電界放出型）。現在、FE-SEMのユーザニーズは、「形状を高分解能で観る」装置から「極表面の観察・分析を高精度に簡単に行なえる」装置へと変わってきました。ΣIGMAは、クロスオーバーフリー構造および電磁界・静電界複合型対物レンズ採用したGEMINI鏡筒により、極低加速電圧による極表面観察や分析を安定して行う事ができます。 また、各種分析検出器の装着により発展的な使い方ができます。
カールツァイスのGEMINI鏡筒を搭載したモデルでは、「ULTRA55」「SUPRA40」などが国内でも多数利用されていますが、今回さらにお手軽な価格のラインナップとしてΣIGMAを追加しました。
今後、サンプル極表面の観察・分析、非導電体サンプルのノンコーティング観察、磁性体観察などの分野、各種材料メーカー、官公庁研究機関などでの利用を進めてまいります。
【ΣIGMAの主な特長】
1. クロスオーバーフリー構造、および電磁界・静電界複合式型対物レンズ採用したGEMINI鏡筒により、極低加速電圧時でも安定的な高分解能観察が可能です。
2. 低加速電圧時の観察では、試料へのバイアス電圧印加、試料の小片化などの制限が不要です。従って、斜面部分、破断面など様々な形状の試料及び磁性材料に対しても効果的な観察・分析ができます。
3. 直径250mm×高さ145mmまでのサンプルが収納可能な、5軸電動大型ステージ採用。ステージ稼動範囲は125mm×125mm。
4. EDS（エネルギー分散型X線分析装置）、EBSD（結晶方位解析装置）、WDS（波長分散型X線分析装置）、STEM（走査透過電子顕微鏡）などを同時搭載可能なユニバーサルチャンバー。
【ΣIGMAの主な仕様】
| 分解能: |
1.5nm @ 20kV
1.7nm @ 15kV
3.0nm @ 1kV |
| 倍率: |
12 〜 500,0000 X |
| 加速電圧: |
0.1 〜 30kV |
| 電流量 : |
4pA 〜 20nA (オプションで40nAまで可) |
| 電子線源: |
ショットキーFE型 |
| 標準装備検出器: |
インレンズSE（二次電子）検出器/チャンバーSE検出器 |
| オプション検出器: |
半導体反射電子検出器、AsB（角度選択型）反射電子検出器
STEM検出器、試料電流計
EDS検出器、EBSD検出器、WDS検出器 |
| 試料室サイズ: |
φ365mm/H270mm |
| ステージ移動距離: |
125 x 125 x 50mm |
【価格】 3500万円〜 （税別）
【販売予定台数】 年間10台
以 上
本件に関するお問合せ
【マスコミ】
エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社
事業企画室
TEL：043-211-2932
【お客様】
エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社
BT営業部
TEL：03-6280-0090
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