エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社（略称：SIIナノテク、社長：北野 進、本社：東京都中央区新富2-15-5 RBM築地ビル、TEL：03-6280-0070）は、取り扱いが簡単で低価格な走査型プローブ顕微鏡ユニットの新製品「Nanocute（ナノキュート）」および、同製品に接続して制御を行なうコントロールステーション「NanoNavi Ⅱ e（ナノナビ ツー イー）」を開発し、本日12月1日より販売します。

　走査型プローブ顕微鏡(SPM : Scanning Probe Microscope)は、先端径が数nmから数十nmと鋭く尖ったプローブ（探針）でサンプル表面を走査することにより、表面の凹凸をナノメートルレベルの分解能で三次元的に表示できる顕微鏡です。一般の電子顕微鏡が真空中でしか観察できないのに対し、SPMは大気中での観察が可能です。Nanocuteは、主な用途を表面形状観察に絞ると共に、表面形状の検出にシンプルな構造の「自己検知型カンチレバー^*1」を用いる事で、観察準備から測定までの取り扱いを大変簡単にすると共に、システムで580万円（税別）というお求めやすい価格を実現しました。

　SIIナノテクは1989年に日本初のSPMを開発以来、その時折に求められてきた観察測定の新技術をSPM製品に組み込み、最先端のナノテク研究や製品開発に携わる方々のニーズにお応えしてきました。一方、SPMはその高い能力を発揮するために、測定条件の設定や操作に専門知識と熟練が必要な事も事実です。近年このような高い観察分析能力を持つSPMをもっと身近に利用したいというニーズも増えてきています。具体的には生産現場での工程管理、品質管理、またはサンプルの形状を簡単にその場で観察したいといった教育現場などでの利用です。Nanocuteは低価格な製品でありながら、SIIナノテクが培ってきたSPMの基本構造を継承して信頼度の高い基本性能を有しますので、JISに準拠した定量的な表面粗さの計測も可能です。また、購入後の機能の拡張や分解能向上など、上位機種と同等の性能へグレードアップすることもできます。

　SIIナノテクでは今後、初めてプローブ顕微鏡を使ってみたいとお考えの研究者の方、無機・有機の各種素材、電気・機械部品などの研究開発や品質管理のご担当、大学や高専など教育分野に携わる方などでの利用を進めて参ります。

【Nanocuteの主な特長】

1. お求めやすい価格設定と小さな本体サイズ
主な用途を形状観察に絞るとともに、シンプルな構造の自己検知カンチレバー方式を採用することで、システム価格580万円という従来にないお求めやすい価格を実現しました。また除振機構も内蔵で小型なため、設置面積もとりません。

2. 簡単な測定準備
新開発のTipView（チップビュー）カンチレバーの採用により、測定したい位置を容易に定めることができます。また、このカンチレバーは自己検知型を採用しているため、取り付けに際し微調整の必要がありません。初心者の方でもワンタッチで交換ができます。これらにより、従来20分程度かかっていた測定準備が数分で終了します。

（TipViewカンチレバー）	（従来のカンチレバー）

3. 簡単な操作
操作手順は、PC画面に表示されるフローチャート形式のナビゲートシステムにより案内されます。これに沿って操作する事で、どなたでも簡単に高分解能な表面観察を行うことができます。

【主な仕様】

■Nanocute
	検出方式：	自己検知方式（光テコ方式アップグレード可能）
	試料サイズ：	最大35mmφ、厚み10mm
	走査範囲（面内/垂直）：	20/1.5µm、100/15µm、150/5µm、110/6µm（選択可能）
	機能：	DFM（ダイナミックモード）、PM（位相）
	光学顕微鏡：	直上観察対応USBカメラ搭載（倍率2段階切替）
	除振機構：	ゲルダンパー機構内蔵
■NanoNaviⅡe
	操作画面：	フローチャート形式ナビゲートシステム
	表面粗さ測定：	表面粗さJIS規格（JIS R 1683:2007）対応

【標準価格】

Nanocute システム （SPMユニットNanocuteおよび、コントロールステーションNanoNavi Ⅱ eの組合せ）：

約580万円〜　（税別）

【販売計画】 　　年間50セット

【注記】
*1　自己検知型カンチレバー
カンチレバー（片持ち梁）はプローブと一体構造となっており、計測によってサンプルとの間に生ずる歪み（信号）を検出するする重要パーツです。一般的に信号検出にレーザー光を用いる「光テコ型」が使われますが、光テコ型はレーザー光軸の調整に最大で5軸必要となり、構造が複雑で取り扱いには知識と熟練が必要です。一方、「自己検知型」は内蔵されたピエゾ抵抗体により、歪みを電気抵抗の変化として検出することができ、大変簡素な構造なため取り扱いも簡単で、SPMの小型化、軽量化にも貢献します。

（自己検知型カンチレバー）	（光テコ型カンチレバー）

SPMユニット Nanocute外観

Back