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:: ニュースリリース ::
2008年9月1日
走査型プローブ顕微鏡の新システムと新オプションを発売
局所熱物性評価システム ナノサーマル顕微鏡「nano-TA2-S」
JISに準拠した表面粗さ計測オプション「NanoNavi JS-1683」 |
エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社（略称：SIIナノテク、社長：北野 進、本社：東京都中央区新富2-15-5 RBM築地ビル、TEL：03-6280-0070）は、走査型プローブ顕微鏡*1の新システムとして、100nm以下の水平分解能で局所の熱物性評価が可能な「ナノサーマル顕微鏡『nano-TA2-S』」、また新オプションとして、JIS規格に準拠して表面粗さを定量的に測定する「表面粗さ計測オプション『NanoNavi JS-1683』」を、本日9月1日より販売します。
*1走査型プローブ顕微鏡(SPM : Scanning Probe Microscope) 先端径が数nmから数十nmと鋭く尖った探針でサンプル表面を走査することにより、極小領域の表面形状や物性を原子レベルで観察する顕微鏡の総称。原子間力顕微鏡（AFM : Atomic Force Microscope)と称される場合もある。電子顕微鏡が真空中でしか観察できないのに対し、大気中や液中でも観察が可能で、「SPMの発明によりナノテクが進展した」とも言われる。測定技術は今も進歩を続けており、高分子材料、無機材料、生体組織にいたるさまざまな物質表面の形状や物性を高分解に測定できるSPMの可能性には、各界から大きな期待がある。SIIナノテクは1989年、日本初のSPMを開発以来、常に最先端の装置を投入しており、国内シェアはトップ。
局所熱物性評価システム「ナノサーマル顕微鏡『nano-TA2-S』」
ナノサーマル顕微鏡「nano-TA2-S」は、SIIナノテクの環境制御型SPM「E-sweep」または高分解能小型SPM「S-image」に、米国アナシス・インスツルメンツ社製コントローラ「nano-TA2」、プローブの先端部分を500°Cまで加熱できるサーマルプローブ、の組み合わせで構成されます。走査型プローブ顕微鏡として取得したサンプル画像から測定したい位置を特定し、100nm以下の水平分解能で局所加熱による熱機械分析を行ないます。これにより、100nm以下という微小領域のガラス転移、結晶性、融解温度や硬化度測定を実現します。例えばブレンドポリマーの分布や局所の熱物性分析、ナノメートルレベルの薄膜の熱物性測定などの評価ができます。
近年、ゴムやプラスチックなどの高分子材料開発の分野では、材料表面や界面での物性評価に対するニーズが高まっています。走査型プローブ顕微鏡は、今までも局所的な粘弾性、摩擦力、吸着力といった機械物性や導電性、表面電位といった電気物性などの評価を行うことができましたが、新たにnano-TA2-Sを用いて局所加熱、熱物性分析という評価技術を加えることで、更に多彩な使い方ができるシステムになりました。今後、ポリマー、薄膜、薬剤、半導体、ストレージなどの分野で、材料開発や製品設計への新しい応用が期待されます。
【nano-TA2-Sの主な特長】
1. 100nm以下の高分解能な熱物性評価が可能
従来にない先端径の小さなサーマルプローブ、精度の高いコントローラ、ドリフトの少ないSIIナノテク製SPMの組合せにより、水平分解100nm以下の高分解能な熱機械物性分析を可能としました。
2. さまざまな環境雰囲気に対応
環境制御型SPMのE-sweepと組み合わせることで、大気中だけでなく真空中、調湿雰囲気やガス雰囲気中での測定ができます。またサーマルプローブによる局所加熱に加えてサンプル全体の加熱、冷却により、総合的な熱物性評価が可能になります。
3. 正確な位置決めの実現
SIIナノテク製SPM「S-image」「E-sweep」は低ドリフト構造、クローズドループスキャナの搭載により、熱物性分析を行ないたい位置を正確に定めることができます。また分析中もドリフトが無いため大変精度の高い測定が可能です
【標準価格】
| プローブ顕微鏡を含んだシステム |
約2,500万円〜 |
| サーマル顕微鏡用コントローラのみ |
約1,300万円〜 |
【販売計画】
年間10セット
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ナノＴＡコントローラ nano-TA2 |
サーマルプローブのイメージ図 |
JISに準拠した表面粗さ計測オプション ｢NanoNavi JS-1683｣
NanoNavi JS-1683は、昨2007年11月にJIS制定された「原子間力顕微鏡によるファインセラミックス薄膜の表面粗さ測定方法（JIS R 1683:2007）」に準拠して、サンプル表面の定量的な粗さ計測を行なう、SIIナノテク製SPM用のオプションです。一般的に、情報処理機器用ディスプレイの透明電極薄膜、カメラをはじめとする光学部品のコーティング、精密機械部品、工具用ハードコーティングなどの表面粗さはnm（ナノメートル）レベルであり、従来利用されていた接触式表面粗さ測定機では、その測定範囲がµm（マイクロメートル）レベルであることから、測定することが不可能でした。
従来からSPMは半導体や金属、セラミック、有機高分子試料のnmレベルの粗さ管理ツールとして利用されてきましたが、機種の違いや針先の形状・磨耗に起因する測定データの誤差が問題となっており、測定値の客観的な評価方法が求められていました。 今回JIS R 1683:2007において探針検定を含む微小領域の表面粗さ評価方法が規格化されたことにより、誤差の問題が解決され、より高精度で客観的な粗さ評価ができるようになりました。
NanoNavi JS-1683は、JIS R 1683:2007に準拠した専用ソフト、探針評価用標準試料により構成されており、SIIナノテク製SPMと組み合わせることで、1〜30nmの定量的、客観的な表面粗さ測定を、容易に行なうことができます。
【NanoNavi JS-1683の主な特長】
1. ウィザード形式で簡単な操作が可能
装置構成、試料予備測定、探針検定、試料測定までのフローをウィザード形式の操作としました。簡単な操作でJIS規格に準拠した粗さ評価ができます。
2. SISモード併用による再現性の向上
粗さ測定では、測定中の探針磨耗等により測定データが変化してしまう可能性があります。SIIナノテク独自のSPM観察モードの「SISモード」を併用することで、探針の試料への接触回数を低減し、粗さ測定結果の再現性を向上することができます。
【標準価格】
150万円〜（探針評価用標準試料付属）
【販売計画】
年間30セット
以上
本件に関するお問合せ
【マスコミ】
エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社
広報グループ
TEL：03-6280-0061
【お客様】
エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社
営業一部
TEL：03-6280-0063
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