エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社（略称：SIIナノテク、社長：北野 進、本社：東京都中央区新富2-15-5 RBM築地ビル、TEL：03-6280-0070）は、新開発の高次数選択方式の分光器により、全波長領域にわたって高感度と高分解能測定の両立を実現したICP発光分光分析装置（ICP Optical Emission Spectrometer： ICP-OES、もしくはICP-AES）の新製品「SPS3500シリーズ」を 9月1日に発売します。

　ppm（百万分率）から ppb（十億分率）オーダーでの元素分析が可能なICP-OESは、金属の精密分析装置として多くの公定法で採用されています。特に近年はRoHS指令やハロゲン規制において規制の対象とされているカドミウム（Cd）、鉛（Pb）、クロム（Cr）、水銀（Hg）、臭素（Br）、塩素（Cl）などの管理に関する精密分析手法としての地位が確立されています。また、電子、電気機器中の規制物質の管理だけではなく、めっき、工業材料、鉄鋼・非鉄などマトリクス^*1の高い試料中の組成の分析および品質管理にも広く用いられています。

　精密分析装置として、ICP-OESには高い感度と分解能が求められていますが、従来装置における分光器の能力では、最高レベルの感度および分解能を得ようとすると、測定波長域が制約される場合がありました。そのために測定する波長域に応じて複数の分光器の使い分けをする必要がありました。また、スループットの観点からも、より感度と分解能の高い装置が求められていました。

　今回発表した「SPS3500シリーズ」は、新規開発の高次数選択方式の分光器を搭載することで、高感度、高分解能な測定を実現した装置です。高次数選択方式の分光器の採用により、従来は一次回折光のみで行っていた測定に、二次回折光、三次回折光も利用することが可能になりました。これにより、1台の分光器でも全波長領域で高い回折効率を実現させ、感度、分解能の向上を成功させました。さらに2台の分光器を用いることで、一層の高分解能、ハイスループット測定が可能となります。また、干渉を抑制する光学フィルタ、チャンバーガスコントロールシステムなどの新機能を採用し、より精確な測定をサポートしています。

　「SPS3500シリーズ」は、利用者のニーズに合わせた4タイプをラインアップしています。

タイプ	分光器	特長
SPS3510	1チャンネル	1台の分光器で全波長領域において高感度、高分解能測定を実現したコストパフォーマンスの高いモデル
SPS3520	2チャンネル	世界最高水準の分解能と2チャンネル同時の高速分析が可能な高機能モデル（パージ分光器タイプ）
SPS3520V	2チャンネル	世界最高水準の分解能と2チャンネル同時の高速分析が可能な高機能モデル（真空分光器タイプ）
SPS3520UV	2チャンネル	世界最高水準の分解能と2チャンネル同時の高速分析が可能な高機能性に加え、130 nm〜160nmまでの短波長領域の塩素、臭素等の高感度測定が可能なハロゲン元素対応モデル

【SPS3500シリーズの主な特長】

1. 全波長領域において高感度分析を実現
高次数選択方式を採用することにより、1台の分光器において全波長領域の高感度測定が可能です。短波長領域対応のSPS3520UV では、光学系を改良することにより反射率・透過率が向上し、ハロゲン元素においても高感度な測定が可能になりました。130nmから770nmのまでの広範囲波長に存在する元素の一斉分析が可能で、塩素、臭素などの元素を数十ppbオーダーで測定します。

2. 高分解能測定が可能
高次数選択方式を採用することにより1台の分光器において分解能が約2倍向上しました（当社比）。4320本/mm回折格子採用のSPS3520、SPS3520V、SPS3520UVの3タイプにおいては、世界最高水準の分解能0.0045nmを実現しており、金属などのマトリクスの高い試料を精確に測定します。

3. スペクトル干渉を除去する光学フィルタを装備
新採用のフィルタリング機能により、目的のスペクトルと近接する妨害スペクトルを除去し、精確に測定します。3種類の光学フィルタを装備し、操作ソフト上で切り替えることができます。（オプション）

4. 高マトリクス対応
マトリクスに強い側面方向からの観察を採用することで、あらゆる試料を希釈などの前処理なしに導入できます。チャンバーガスコントロールシステムを用いたホットプラズマ、コールドプラズマの選択が全元素で可能となりました。

5. 高速ツインシーケンシャル
高次数選択方式の分光器では、広い波長範囲での測定が可能です。SPS3520、SPS3520V、SPS3520UVの3タイプにおいては、独立した2台の分光器による同時駆動・同時測定が可能なことから、定量分析速度は約20元素/分と高速です。

6. コンパクト設計
分光器を縦型に配置、高周波電源や循環冷却水装置をも本体に内蔵したオールインワンコンパクト設計です。

【価格】 1700万円〜（税別）

【販売開始日】 2008年9月1日

【販売予定台数】 100台（2009年度）

【注釈】 ^*1マトリクス 分析対象元素と共存する成分

ICP発光分光分析装置 「SPS3500シリーズ」

以上

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