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:: ニュースリリース ::
2008年7月29日
小型・低価格な集束イオンビーム（FIB）装置の新製品
「ナノ加工顕微鏡システムSMI500」を発表
ナノレベルの微細加工と顕微鏡観察を手軽に実現 |
エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社（略称：SIIナノテク、社長：北野 進、本社：東京都中央区新富2-15-5 RBM築地ビル、TEL：03-6280-0070）は、集束イオンビーム（FIB）装置の新製品として「ナノ加工顕微鏡システムSMI500」を、本日7月29日に発表し、7月30日から東京ビックサイトで開催のマイクロマシン/MEMS展に実機を出品します。
集束イオンビーム（FIB）装置とは、数ナノメートルに細く絞った（集束）イオンのビームでサンプル表面を走査することで、ナノレベルの(1)顕微鏡観察、(2)エッチング（食刻）加工、(3)デポジション（堆積）加工を一台で行なえる装置です。主な用途は、透過電子顕微鏡(TEM)用のサンプル薄片の切り出し加工、半導体デバイスの配線変更、欠陥評価、金属材料の結晶粒観察などです。これまで半導体の微細化、高性能な各種材料の開発製造などでその能力を発揮していましたが、価格が1台5000万円から数億円と非常に高価で、操作も専門知識が必要など、利用分野は限られていました。
一方、近年ナノテクノロジーの裾野が広がりを見せ、各方面の研究者や開発者の方々から、各種サンプルの微小切断や微小冶具、微小構造物の作製など、幅広い用途で手軽に加工を行ないたいとの希望が多数寄せられるようになりました。これらの潜在的なニーズに応える製品として開発されたのが小型・低価格な「ナノ加工顕微鏡システムSMI500」です。
ナノ加工顕微鏡システムSMI500は、上位機種と同種の自社開発高性能FIB鏡筒を搭載し、高精度なFIBによる加工と顕微鏡像観察を1台の装置で行なうことができます。また、従来のFIB装置のイメージを変えるシンプル設計により低価格を実現しつつ、人間工学に基づいた外観デザイン、イージーナビ機能、ベクタースキャンモードなどを標準装備し、使いやすさも向上させています。
SIIナノテクでは1986年に日本で始めて汎用FIB装置を発売以来、最先端の装置を投入し、国内シェアはトップです。また、世界トップレベルの技術をもつFIB装置メーカとして、従来から分解能の向上などの高性能化や、自動化をはじめとする高機能化を積極的に開発してきました。今回SMI500の発表により、お求めやすい販売価格と使いやすさで、お客様のナノテクノロジー開発の要求に応え、ナノテクノロジーにとって重要なキーアイテムであるＦＩＢ装置の応用分野の拡大に寄与していきたいと考えております。
【SMI500の主な特徴】
| (1) |
入門機として、従来に無いお求め安い価格で、様々な市場に提供します。 |
| (2) |
シンプル設計の装置構成により、従来機種に比べ設置場所などの制限が小さくなりました。 |
| (3) |
イージーナビ機能搭載により初めての方でも簡単に操作ができます。 |
| (4) |
上位機種にも採用されている高性能FIBカラムの搭載により、明瞭な二次電子顕微鏡像が得られます。 |
| (5) |
ベクタースキャンモードを標準装備し、多彩な加工が簡単に行えます。 |
| (6) |
ガス導入システム（オプション）によりデポジション加工が可能です。 |
| (7) |
CCDカメラ（オプション）により試料の位置合わせが簡単に行えます。 |
【主な仕様】
| 本体サイズ： |
600(W) x 700(D) x 1520(H)mm |
| FIB加速電圧： |
30KV |
| 最大倍率： |
30,000倍以上 |
| 最大試料サイズ： |
φ32mm以下 t15mm以下 |
| ステージ |
5軸ステージ |
【予定価格】
2,980万円（標準仕様、税別）より
【販売目標台数】
20台/年
【出荷開始予定】
2008年12月
ナノ加工顕微鏡システム SMI500
本件に関するお問合せ
【マスコミ】
エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社
広報グループ
TEL：03-6280-0061
【お客様】
エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社
BT営業一課
TEL：03-6280-0067
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