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:: ニュースリリース ::
2008年6月17日
高速マッピング測定機能搭載の蛍光X線分析装置
「SEA6000VX」を発売
高感度・高速測定で微小部の有害金属検査効率を向上 |
エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社（略称：SIIナノテク、社長：北野 進、本社：東京都中央区新富2-15-5 RBM築地ビル、TEL：03-6280-0070）は微小部の微量金属を短時間で高感度に測定することが可能な液体窒素不要のエネルギー分散型蛍光X線分析装置「SEA6000VX」を本日発売します。
蛍光X線分析装置は、その使いやすさや測定スピードが評価され、RoHS指令等の環境規制に対応するための、部品や製品の受入・出荷検査装置として広く導入されています。また、RoHS指令以外にも、ELV指令をはじめ、玩具、RPF*1などにおける鉛フリー化、ハロゲンフリー化の流れを受け、環境規制物質測定のニーズは拡がりを見せています。しかしながら、測定の一層の効率化や、複雑な測定への対応を求める現場のニーズは強く、実装基板などの複合構成部品に対して、部品を分解しない状態での特定部位に絞った微小部の測定や、基板全面に渡る有害物質の管理など、従来の装置では対応が困難な要求も顕在化し、これらのニーズを満たす装置の開発が求められていました。
「SEA6000VX」は、大幅な感度向上により微小部の測定スピードの高速化を実現した装置です。当社独自の液化窒素レスの高計数率検出器 Vortex の搭載とX線発生系の新規設計により、従来機種に比べ10倍以上に感度を向上させています。それにより、従来は5mm〜10mm程度の比較的大きな分析エリアで行っていた微量有害物質測定を、0.5mm〜1.2mm程度の微小エリアでも同等以下の測定時間で実施できるようになりました。
この微小部測定における感度向上と高速電動ステージの組み合わせにより、二次元元素マッピングの高速化を実現しました。100mm x 100mmの実装基板を高速マッピングすることにより、サブミリサイズの共晶はんだを2分程度で検出することができます。さらにマッピング回数を増やすことにより、30分程度でRoHS指令での規制値である1,000ppmレベルの鉛の検出が可能となり、実装基板全面にわたって鉛フリーに適合しているかどうかの判断を行うことができるようになりました。
その他にも、測定位置決め用に広い視野を高解像度で観察できる光学系の装備や、高精度X-Yステージの搭載など、操作性や測定の安定性向上のための改良もなされています。
SIIナノテクの有害物質の測定向け蛍光X線分析装置は、従来の下面照射型のSEA1000A、SEA1200VXに、上面照射型の「SEA6000VX」が加わることにより、幅広い測定対象に対応できるラインナップとなりました。
【SEA6000VXの主な特長】
1. 高速マッピング測定
大幅に向上した微小部蛍光X線分析の感度と高速電動ステージによる連続駆動の組み合わせにより、高速に二次元元素マッピング像を取得できます。特に基板中の鉛のマッピングへの対応を強化し、鉛マッピング専用フィルタを搭載しました。1,000ppmを下回る鉛フリーはんだ中の鉛のマッピングも可能となります。
2. 広域に渡る高解像度な光学系
250mm x 200mmの全域にわたって20µm以下と高解像な光学像の取得が可能です。この光学像からダイレクトに精度良く測定位置指定を行うことが可能になり、操作性を飛躍的に向上させました。また、この光学像を高速マッピングで得られたマッピング像と重ねあわせることで、広い範囲にわたって高精度な解析が可能となります。
3. 微小部の微量金属を高速測定
高密度な微小X線ビームの実現と高計数率検出器の搭載、さらに蛍光X線の検出効率を徹底的に考慮した設計により、高感度化を実現しました。微小部の微量金属や薄膜を短時間で測定します。1mm x 1mmほどの微小領域でも100秒程度の速さで有害物質を測定します。
4. 液化窒素不要の高計数率検出器
SIIナノテク独自の液化窒素不要の高計数率検出器 Vortex が標準装備され、面倒な液体窒素の補給は不要です。立ち上がり時間も数分と短く、電子冷却タイプのため信頼性に優れています。液化窒素の製造・運搬時に発生していた二酸化炭素の排出量削減への貢献、測定スピードの効率化による消費電力を削減など、環境にも配慮した装置です。
5. 微小部膜厚測定
0.2mm x 0.2mmの面積のAu/Ni/Cu（金/ニッケル/銅）など薄膜多層めっきの膜厚が10秒程度で高精度に測定できます。また鉛フリーはんだめっきや無電解ニッケルめっきに含まれる微量の鉛の分析も可能です。
【主な仕様】
| 線源： |
空冷式小型X線管（50kＶ，1mA） |
| 検出器： |
半導体検出器（液化窒素レスタイプ） |
| ビーム径： |
□0.2ｍｍ、□0.5ｍｍ、□1.2mm、□3ｍｍ 電動切換え |
| 試料観察： |
高解像度CCDカメラ 2系統 |
| 最大試料サイズ： |
580mm（W）x450mm（D）x150mm（H）
250(X)×200(Y)mmの全面に対してポイント分析及びマッピングが可能 |
| フィルタ： |
電動切替（1次： 6モード） |
| 操作部： |
パソコン、19インチ液晶モニタ |
| オプション： |
ジョイスティックコントローラー、シグナルタワー
マルチディスプレイ等 |
| データ処理： |
Microsoft® Excel、Microsoft® Word搭載 |
| 安全機能： |
試料扉インターロック、試料の衝突防止機能
装置診断機能等 |
【予定価格】
1,800万円 （標準仕様、税別）より
【販売目標台数】
200台（2008年度）
【販売開始日】
2008年6月17日
【注記】
*1 RPF
Refuse Paper & Plastic Fuelの略で、マテリアルリサイクルが困難な古紙及び廃プラスチックを主原料とする固形化燃料のこと。
蛍光X線分析装置 SEA6000VX
※ Microsoftは、米国 Microsoft Corporationの米国及びその他の国における登録商標または商標です。
本件に関するお問合せ
【マスコミ】
エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社
広報グループ
TEL：03-6280-0061
【お客様】
エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社
営業二部
TEL：06-6871-8453
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