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:: ニュースリリース ::
2008年5月20日
カールツァイス製 走査電子顕微鏡の新製品
「ULTRA plus （ウルトラプラス）」を発売
非導電性のサンプルでも画期的な超高解像度画像を実現 |
エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社（略称：SIIナノテク、社長：船本宏幸、本社：東京都中央区新富2-15-5 RBM築地ビル、TEL：03-6280-0070）は、カールツァイス製走査電子顕微鏡（SEM）の新製品「ULTRA plus （ウルトラプラス）」を、本日5月20日に発売します。このULTRA plus はカールツァイス独自のチャージ・コンペンセイション（帯電除去）機能により、非導電性（絶縁性）のサンプルでもSE（二次電子）検出器とEsB（エネルギー選択型反射電子）検出器等を利用して、高分解能でノイズのない画像を安定して得ることができます。今後、各種材料、半導体、ライフサイエンスなど広い分野にわたる観察、分析、試験、開発での利用が見込まれます。
従来SEMでポリマーやセラミックスなど絶縁体のサンプルを観察しようとすると、走査された電子線によりサンプル表面が帯電してしまい、観察画像がノイズで乱れる、正しいコントラストが得られないなどといった不都合がありました。そのため、一般的に絶縁体を観察するには、サンプル表面に金やカーボン（炭素）などの導電体を蒸着・コーティングして帯電しないように前処理する必要があります。しかしサンプルの表面がコーティング材で覆われてしまうため、本来のサンプル極表面の観察ができない、X線による組成分析なども精密に出来ないといった問題点が付随しました。この問題の解決策としてULTRA plusでは、絶縁体サンプルの観察時に、不活性ガスを局所的に噴射してサンプル表面の帯電を除去する新機能「チャージ・コンペンセイション機能｣を搭載しています。これによりサンプル表面の帯電は中和され、蒸着処理を行なうことなく、絶縁性のサンプルも導電性のサンプルと同様に、観察や分析を行うことが可能になりました
また、ULTRA plusはフィッシュアイモード、エコノミック・クワイエットモード、レーザーファインダー、オプティプローブなど、多くの新オプションを準備し利便性の向上も図っています。今後、半導体・FPD・ストレージ等の電子デバイス分野、高分子・セラミックス・金属等の材料分野、バイオ・創薬・天然物化学・化粧品などのライフサイエンス分野で観察、分析を行なう研究者や開発者の拡大する要求にお応えしてゆきたいと考えています。
【ULTRA plusの主な特徴】
1. チャージ・コンペンセイション（帯電除去）機能により、絶縁体でも高分解能画像の取得とEDS分析が可能です。
2. フィッシュアイモードにより、チャンバー内のサンプルや検出器の配置などを同時、広範囲に確認することができます。
3. エコノミック・クワイエットモードにより、粗引き真空ポンプを効率的に稼動することで、静音化および大幅な消費電力の節減を達成できます。
4. レーザーファインダーにより、サンプルの位置合わせを簡単に行なうことができます。
5. オプティプローブモードにより、任意のビーム電流を簡便に選択することができます。
【ULTRA plusの主な仕様】
| 分解能: |
1.0nm@15kV
1.7nm@1kV
4.0nm@0.1kV |
| 倍率: |
12 X〜1000k X |
| 加速電圧: |
0.02kV〜30kV |
| 電流量: |
4pA〜20nA または 12pA〜40nA |
| 電子線源: |
ショットキーFEエミッター |
| 標準装備検出器: |
インレンズSE検出器/チャンバーSE検出器
EsB反射電子検出器/AsB反射電子検出器 |
| オプション検出器: |
半導体反射電子検出器/シンチレーター反射電子検出器
試料電流検出器/STEM検出器 |
| 試料室サイズ: |
φ330mm/H270mm |
| ステージ移動距離: |
130 x 130x50mm 以上 |
走査電子顕微鏡 ULTRA plus 装置外観
以上
お問合せ
【マスコミ】
エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社
広報グループ
TEL：03-6280-0061
【お客様】
エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社
BT営業部
TEL：03-6280-0090
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【参考資料】
観察事例：
左）帯電で乱れた観察画像 右）チャージ・コンペンセイション機能による高精細画像
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| （サンプル：セラミックス、加速電圧：15kV、コーティングなし） |
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| （サンプル：ポリマー、加速電圧：3kV、コーティングなし） |
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