エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社（略称：SIIナノテク、社長：船本 宏幸、本社：東京都中央区新富2-15-5 RBM築地ビル、TEL：03-6280-0070）は、極微量元素の高感度測定に優れたICP質量分析装置（ICP Mass Spectrometer：ICP-MS）の新製品2モデル、「SPQ9600」と「SPQ9700」を5月1日より販売いたします。

　環境、半導体、材料、生体分析等の無機分析において、極微量分析のニーズは年々着実に増加しており、ppt（一兆分率）からppq（一千兆分率）オーダーでの分析が可能なICP-MSは幅広く活用されていると同時に装置に対する要求性能も高まりをみせています。そのような中、ICP-MSによる定量分析では、アルゴンガスに起因する分子イオンや、試料を真空中に引き込む過程で生成される酸化物イオンによる妨害^*1の分析結果への影響が、FeやAsなどの元素分析において問題となっていました。

　このたび販売を開始する新SPQ9000シリーズ「SPQ9600/9700」では、新技術CRI（コリジョン リアクション インターフェイス）を搭載することにより、ホットプラズマ条件^*2でそれらの分子イオンの除去を実現し、高感度な分析を可能としています。上水、河川水、海水等の環境分析と、シリコン中の不純物分析など半導体関連素材をはじめとした材料中の極微量分析において、高い能力を発揮します。

【SPQ9600/9700の主な特長】

1. CRI（コリジョン リアクション インターフェイス）を搭載
サンプリング/スキマーコーンに設けられた反応ガス導入部分より、ヘリウムガスまたは水素ガスをプラズマに注入し、分子イオンを衝突・反応により低減します(SPQ9700)。 それにより、以下の点を実現しています。

• 優れた分子イオン除去性能により、測定精度を向上させました。
• 腐食性ガスを使用する必要がありません。
• 複雑なイオンガイドやセルがないため、条件設定が簡単で、迅速な測定を行うことが可能です。
• CRIは反応セルを使用しないため、CRIモードとノーマルモードやガス種の切り替えを簡単・迅速に行うことができます。

2. 高感度と優れた耐マトリクス^*3性の両立を実現
次世代90度偏向イオン光学系イオンミラーの搭載により、低バックグランドと高いイオン透過率を実現し、高感度と優れた耐マトリクス性を両立しました。

3. 世界最高レベルの高感度を実現
90度偏光イオン光学系の採用により、世界最高レベルGcps(10億cps/ppm)の高感度分析と高マトリクス試料のルーチン分析を同時に実現しました。

4. オールデジタル検出器を搭載
アナログとデジタルの切り替え不要の9桁ダイナミックレンジを実現しました。操作性がよく、ppt〜数100ppmまでの高い直線性を実現できることに加え、データの信頼性が向上しました。

5. メンテナンスフリーのターボ分子ポンプを搭載
セラミックス製の軸受けを採用し、従来必要であった軸受けの定期的なメンテナンスが不要です。

6. オールインワンコンパクトモデル
真空ポンプ、高周波電源などを本体に内蔵し、コンパクトサイズで設置スペースを有効に利用することが可能です。


【価格】
　本体　2400万円〜（税別）

【発売開始日】
　2006年5月1日

SPQ9600装置外観

以上

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