エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社は、大型ウエーハ試料に対応した、集束イオンビームと走査電子顕微鏡の複合装置、SMI3000SEシリーズの新モデル2機種を12月1日より発売いたします。200mmウエーハ対応のSMI3200SEと、300mmウエーハ対応のSMI3300SEで、SMI3300SEについては12月より大手半導体デバイスメーカーへの納品を開始し、2005年からは全世界市場に向けて順次納品していく予定です。

SMI3000SEシリーズは、今春発売した50mmウエーハ試料用のSMI3050SEと併せて、50mm、200mm、300mmのウエーハ試料に対応した3モデルが揃うことになります。

【SMI3200SE、SMI3300SEの主な特長】

(1)自動Cut&See機能　
FIBでウエーハ上の任意の箇所の自動断面加工を行い、自動でSEM断面観察を行う場合に有効な機能です。自動取得された断面画像を1つ1つレビューすることに加え、3次元構築ソフトウエアとの組み合わせによる立体的観察も可能です。

(2)連続A-TEM　
予め加工レシピに登録するにより、ウエーハ上の任意の複数箇所のTEM試料作製を自動で行うことができます。夜間の無人連続自動加工により、スループットの向上、稼働率の向上、トータルコストの大幅削減に貢献します。

(3)リアルタイム高分解能FE-SEM観察
FIB加工中の状況の常時リアルタイムでの高倍率SEM観察が可能です。TEM試料作製はもちろんのこと、断面SEM観察・元素分析などにおいても威力を発揮します。

(4)外部装置とのリンケージ
欠陥検査装置やCADナビゲーションシステム、光学顕微鏡との位置座標リンケージ機能により、加工位置を簡単に見つけ出すことができます。

(5)マイクロプロービングシステム
真空チャンバー内でナノメートル精度のプロービング操作を多目的に行うことができます。

【価 格】
SMI3200SE本体　1億6千万円〜
SMI3300SE 本体　2億9千万円〜

【販売目標台数】
初年度　10台

【販売開始】
2004年12月1日

【問合せ先】
エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社
営業三部 篠崎
Tel:043-211-1345

以 上

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