エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社は、KLAテンコール(本社：米国カリフォルニア州）と提携し、KLAテンコールが製造販売する次世代ICプロセスに対応したプロファイラ（高分解能表面形状測定装置）AF-LM300向けに、エスアイアイ・ナノテクノロジー製のAFM（Atomic Force Microscope：原子間力顕微鏡）ヘッドの供給を始めました。また、KLAテンコールは大手半導体メーカ向けにAF-LM300の出荷を開始しました。

KLAテンコールは、エスアイアイ・ナノテクノロジーが持つ高度でかつ先進的AFM技術を搭載したAFMヘッドを採用することで、従来型AFMを大幅に上回る高スループットと高信頼性を実現しました。

エスアイアイ・ナノテクノロジーとKLAテンコールは、両者のもつ先端技術をもとに今後も協力関係を進めてまいります。

 

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