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2007年10月10日
LSIテスティングシンポジウム/2007講演・出展のご案内
エスアイアイ・ナノテクノロジーでは、11月7日からの3日間、大阪 千里ライフサイエンスセンターにて開催される「LSIテスティングシンポジウム/2007」に出展し、当社製品XVisionシリーズの装置・最新のアプリケーションをご紹介します。
多くのご来場をお待ちしております。
【開催概要】
会期：
2007年11月7日(水)〜9日(金)
会場：
千里ライフサイエンスセンター (大阪府豊中市)
主催：
LSIテスティング学会
【SIIナノテクによる講演】
一般講演
日時：
11月7日 14:20〜14:40
一般講演II 故障解析/前処理/装置
講演題目：
（和文） TEM観察用試料の高品位化へのアプローチ
（英文） High-definition TEM sample preparation technique
講演概要：
近年、半導体デバイスの微細化などに伴い、高品位のTEM観察用試料を作製する要求が高まっている。高品位な試料を作製するには試料を更に薄くする必要があり、そこには多くの課題があることが分かっている。これまで我々ではFIB/SEM複合装置に低加速Arイオンビームカラムを搭載したトリプルビーム装置を用いて、それらの課題を克服する為に試料の膜厚管理技術や試料の低ダメージ化技術を開発してきた。本講演では更に高品位なTEM試料を作製する為のアプローチを紹介する。
製品紹介
日時：
11月8日 11:03〜11:11 新製品紹介
講演題目：
（和文） FIB-SEM複合装置 XVision200シリーズ
（英文） An introduction of XVision200 series
講演概要：
エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社(SIIナノテク)とカールツァイスNTS社(CZ)は技術提携を結び、昨年に不良解析用FIB／SEM／Ar複合装置「XVision300」シリーズを共同で開発・リリースした。今年は、より汎用性の高い「XVision200」シリーズを開発・リリースをした。基本構成はSIIナノテク製SMI3000SEシリーズをベースとした高性能自動化プラットフォームに、新型集束ガリウムイオンビーム鏡筒・アルゴンイオンビーム鏡筒、及びCZ社製のGemini電子顕微鏡筒を搭載している。本講演では「XVision200」シリーズの詳細な装置構成や機能・性能の紹介と共に、オプション機能を用いた新しいアプリケーションについて紹介する。
【SIIナノテク展示内容】
会場：
千里ライフサイエンスセンター6F 千里ルーム
展示内容：
XVisionシリーズのご紹介 XVisonシリーズを始めとするSIIナノテクの製品についてご紹介致します。
（出展製品：FIB-SEM複合装置 XVisionシリーズ、CZ社製 Gemini FE-SEMシリーズ）
参加申込み方法等の詳細は
LSIテスティングシンポジウム/2007オフィシャルサイト
をご覧下さい。
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