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走査型プローブ |
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SPI4000・SPI3800N/SPA-400 |
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機械物性測定モード：粘弾性、摩擦力、吸着力など、機械的な物性の違いを測定します。 |
| 粘弾性（Vicsoelastic AFM/DFM) |
概要 |
試料に垂直方向の微小振動を加え、表面の粘弾性の違いによるカンチレバーのたわみ振幅を検出し、粘弾性像を観察します。 |
必要
品目 |
①モジュレーションボード
②モジュレーションボード（SMM（表面電位））対応
（※SMM測定をご希望の方のみ②をご選択ください。） |
| VEソフトウェア（AFM/DFM) SPA-400用 |
| カンチレバー |
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| 横振動摩擦力（Lateral Force Modulartion FFM) |
概要 |
試料側に水平方向の微小振動を加え、カンチレバーのねじれ振幅を検出し、表面の凸凹や、走査方向に依存しない摩擦像を観察します。 |
必要
品目 |
①モジュレーションボード
②モジュレーションボード（SMM（表面電位））対応
（※SMM測定をご希望の方のみ②をご選択ください。） |
| LM-FFMソフトウェア SPA-400用 |
| カンチレバー |
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| 吸着力(Adhesion) |
概要 |
資料を垂直方向に微小振動させて、探針が試料から離れる瞬間のカンチレバーのたわみ量を検出し、吸着力分布を観察します。 |
必要
品目 |
アドヒージョンソフトウェア SPA-400用 |
| カンチレバー |
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| 圧電応答(Piezo-Response Microscope)： |
概要 |
探針・試料間に交流電圧を印加し、そのときの誘電体の歪成分を検出しながら走査し、試料の歪分布を観察します。 |
必要
品目 |
①モジュレーションボード
②モジュレーションボード（SMM（表面電位））対応
（※SMM測定をご希望の方のみ②をご選択ください。） |
| LM-FFMソフトウェア SPA-400用 |
| カンチレバー |
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電気物性測定モード：電気的性質である電流、表面電位、誘電率などを測定します。 |
| 表面電位（Kelvin Probe Force Microscope：KFM) |
概要 |
DFMによる形状測定を行いながら、同時に導電性カンチレバーと試料間に交流及び直流電圧を印加、出力信号をロックインアンプで周波数成分に分解し、印加した交流電圧の周波数成分を利用して表面電位を検出するモードです。 |
必要
品目 |
①モジュレーションボード
②モジュレーションボード（SMM（表面電位））対応
（※SMM測定をご希望の方のみ②をご選択ください。） |
| KFMソフトウェア SPA-400用 |
| カンチレバー |
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| マクスウェル応力(Scanning Maxwell Stress Microscope：SMM) |
概要 |
導電性カンチレバーと試料間に交流電圧を印加により、マクスウェル応力が発生しそれによりカンチレバーが振動する。（二種）その振動成分をロックインアンプで同期検出し、片方を０と制御することで表面電位を検出するモードです。 |
必要
品目 |
①モジュレーションボード
②モジュレーションボード（SMM（表面電位））対応
（※SMM測定をご希望の方のみ②をご選択ください。） |
| SMMソフトウェア SPA-400用 |
| カンチレバー |
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| 誘電率(Scanning Nonlinear Dielectric Microscope：SNDM) |
概要 |
探針・試料間に交流電圧を印加し、探針直下の非線形な誘電率の変化を周波数の変化として検出し、誘電体の分極状態や、半導体ドーパント濃度等を観察します。 |
必要
品目 |
①モジュレーションボード
②モジュレーションボード（SMM（表面電位））対応
（※SMM測定をご希望の方のみ②をご選択ください。） |
| SNDM（走査型非線形誘電率顕微鏡）ソフトウェア SPA-400用 |
| カンチレバー |
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| トンネル電流(Scanning Tunneling Microscope) |
概要 |
金属製探針と導電性試料との間にバイアス電圧をかけた状態で互いの距離を近づけ、トンネル電流を検出し、形状および電子状態を観察します |
必要
品目 |
STM観察セット SPA-400用 探針10本付 |
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| ナノ電流（Conducting-AFM：Nano Current) |
概要 |
試料にバイアス電圧を印加したまま平面方向に走査し、探針・試料間の電流を検出して、電流分布を観察します。ナノAオーダーの観察が可能です。 |
必要
品目 |
AFM/電流同時測定ホルダー SPA-400用 |
| CURRENTソフトウェア SPA-400用 |
| カンチレバー |
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| ピコ電流（Conducting-AFM：Pico Current)： |
概要 |
試料にバイアス電圧を印加したまま平面方向に走査し、探針・試料間の電流を検出して、電流分布を観察します。ピコAオーダーの観察が可能です。 |
必要
品目 |
Pico-Current 対応AMP（10-11） |
| ケーブル付電流同時測定ホルダー SPA-400用 |
| CURRENTソフトウェア SPA-400用 |
| カンチレバー |
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| 電流分布（AFM Current Imaging Tunneling Spectroscopy：CITS) |
概要 |
試料面内各点でI/Vカーブを測定数ことにより、任意の電圧値での電流分布を観察します。 |
必要
品目 |
AFM-CITSソフトウェア SPA-400用 |
| CURRENTソフトウェア SPA-400用 |
| AFM/電流同時測定ホルダー SPA-400用 |
| カンチレバー |
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| 強誘電体テスタとの接続システム |
概要 |
強誘電体テスタをSPMに接続することにより、強誘電体薄膜に印加された電圧に連動して得られる品位信号を、ヒステリシスと同時に測定できます。（カタログより：強誘電体テスタは別売で必ず必要です。） |
必要
品目 |
電流同時ケーブル付強誘電体測定セット |
| 強誘電体テスタ |
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溶液測定モード：溶液中での測定モードです。 |
| 液中AFM |
概要 |
生の状態の生体試料及び、酸化しやすい試料等を溶液中で観察が可能です。 |
必要
品目 |
液中観察ホルダー SPA-400用 |
| シャーレステージ（テフロン製シャーレ 2個付） |
| シャーレステージ（ガラス製シャーレ 2個付） |
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| 液中DFM |
概要 |
生の状態の生体試料及び、酸化しやすい試料等を溶液中で観察が可能です。AFMに比べ、さらに柔らかいサンプルの測定が可能です。 |
必要
品目 |
液中DFMカンチレバーホルダー SPA-400用 |
| シャーレステージ（テフロン製シャーレ 2個付） |
| シャーレステージ（ガラス製シャーレ 2個付） |
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| 電気化学AFM(EC-AFM) |
概要 |
電解溶液中で電気化学反応を制御しながら、同時にその変化をAFM観察できます。また、電気化学特性カーブを取得できます。 |
必要
品目 |
液中観察ホルダー SPA-400用 |
| 液中観察（電気化学）セル SPA-400用 |
| EC-AFMソフトウェア SPA-400用 |
| ECコントローラ |
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| 電気化学STM(EC-STM) |
概要 |
電解溶液中で電気化学反応を制御しながら、同時にその変化をSTM観察できます。また、電気化学特性カーブを取得できます。 |
必要
品目 |
EC-STM探針ホルダー |
| 液中観察（電気化学）セル SPA-400用 |
| 探針アピエゾンワックスコート |
| EC-STMソフトウェア SPA-400用 |
| ECコントローラ |
| STM探針脱着治具（912-＃6）1式 |
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| 密封セル |
概要 |
生の状態の生体試料及び、酸化しやすい試料等を溶液密封した状態で観察が可能です。また、ポンプを使用した溶液フローが可能で、ガス置換測定も可能です。 |
必要
品目 |
密封型環境制御セル SPA-400用
(※電気化学AMF、STM以外の測定のときに使用します。) |
EC-AFM用ソフトウェア
(※電気化学AMF、STM測定のときに使用します。) |
ECコントローラ
(※電気化学AMF、STM測定のときに使用します。) |
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オプション：以下のオプションを組み合わせて、更に快適な測定環境をどうぞ。 |
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スキャナ |
スキャナFS-100N（面内100μm垂直15μm） |
| スキャナFS-150N（面内150μm垂直5μm |
MFMスキャナFS-20N-M（面内20μm垂直1.5μm）：
（※ｽｷｬﾅヘッド部を磁石式試料台固定からねじ式に変更した物） |
MFMスキャナFS-150N-M（面内150μm垂直5μm）：
（※ｽｷｬﾅヘッド部を磁石式試料台固定からねじ式に変更した物） |
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