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走査型プローブ |
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SPI3800N/L-trace |
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| 機械物性測定モード：粘弾性、摩擦力、吸着力など、機械的な物性の違いを測定します。 |
| 粘弾性（Vicsoelastic AFM/DFM) |
概要 |
試料に垂直方向の微小振動を加え、表面の粘弾性の違いによるカンチレバーのたわみ振幅を検出し、粘弾性像を観察します。 |
必要
品目 |
①モジュレーションボード
②モジュレーションボード（SMM（表面電位））対応
（※SMM測定をご希望の方のみ②をご選択ください。） |
| VEソフトウェア（AFM/DFM) L-trace用 |
| カンチレバー |
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| 横振動摩擦力（Lateral Force Modulartion FFM) |
概要 |
試料側に水平方向の微小振動を加え、カンチレバーのねじれ振幅を検出し、表面の凸凹や、走査方向に依存しない摩擦像を観察します。 |
必要
品目 |
①モジュレーションボード
②モジュレーションボード（SMM（表面電位））対応
（※SMM測定をご希望の方のみ②をご選択ください。） |
| LM-FFMソフトウェア L-trace用 |
| カンチレバー |
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| 吸着力(Adhesion) |
概要 |
資料を垂直方向に微小振動させて、探針が試料から離れる瞬間のカンチレバーのたわみ量を検出し、吸着力分布を観察します。 |
必要
品目 |
アドヒージョンソフトウェア L-trace用 |
| カンチレバー |
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| 圧電応答(Piezo-Response Microscope)： |
概要 |
探針・試料間に交流電圧を印加し、そのときの誘電体の歪成分を検出しながら走査し、試料の歪分布を観察します。 |
必要
品目 |
①モジュレーションボード
②モジュレーションボード（SMM（表面電位））対応
（※SMM測定をご希望の方のみ②をご選択ください。） |
| PRMソフトウェア L-trace用 |
| カンチレバー |
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| 電気物性測定モード：電気的性質である電流、表面電位、誘電率などを測定します。 |
| 表面電位（Kelvin Probe Force Microscope：KFM) |
概要 |
DFMによる形状測定を行いながら、同時に導電性カンチレバーと試料間に交流及び直流電圧を印加、出力信号をロックインアンプで周波数成分に分解し、印加した交流電圧の周波数成分を利用して表面電位を検出するモードです。 |
必要
品目 |
①モジュレーションボード
②モジュレーションボード（SMM（表面電位））対応
（※SMM測定をご希望の方のみ②をご選択ください。） |
| KFMソフトウェア L-trace用 |
| カンチレバー |
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| マクスウェル応力(Scanning Maxwell Stress Microscope：SMM) |
概要 |
導電性カンチレバーと試料間に交流電圧を印加により、マクスウェル応力が発生しそれによりカンチレバーが振動する。（二種）その振動成分をロックインアンプで同期検出し、片方を０と制御することで表面電位を検出するモードです。 |
必要
品目 |
①モジュレーションボード
②モジュレーションボード（SMM（表面電位））対応
（※SMM測定をご希望の方のみ②をご選択ください。） |
| SMMソフトウェア L-trace用 |
| カンチレバー |
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| ナノ電流（Conducting-AFM：Nano Current) |
概要 |
試料にバイアス電圧を印加したまま平面方向に走査し、探針・試料間の電流を検出して、電流分布を観察します。ナノAオーダーの観察が可能です。 |
必要
品目 |
CURRENTソフトウェア L-trace用 |
| カンチレバー |
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| 電流分布（AFM Current Imaging Tunneling Spectroscopy：CITS) |
概要 |
試料面内各点でI/Vカーブを測定数ことにより、任意の電圧値での電流分布を観察します。 |
必要
品目 |
AFM-CITSソフトウェア L-trace用 |
| CURRENTソフトウェア L-trace用 |
| カンチレバー |
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